リソグラフィとＩＴＲＳ

龜山雅臣
WP#10-06 一橋大学イノベーション研究センター （2010/09/10）

ITRSのロードマップ活動は社会的に認知され、半導体以外の産業でもロードマップが策定されるようになった。一方でITRSはIntelロードマップとも呼ばれることがあり、特定企業に有利とその意義に疑問が持たれた事もあった。本論文では半導体産業が発展し続けるために追求する微細化とITRSの現状を議論し、微細化を支えるリソグラフィ技術とITRS…