富士通株式会社: 最先端LSIを実現したArFエキシマレーザーリソグラフィ用新規レジスト材料の開発と実用化
久保田達也:青島矢一:高永才
CASE#13-02 一橋大学イノベーション研究センター (2013/05/01)
富士通の開発者が、他社より早くArFレジスト材料の開発に成功した理由には、アクリル樹脂に集中した点と、トレードオフ関係にある様々な技術要件を一度に解決しようとした点が挙げられる。これは開発者が当初から最終的な工業化、製品化を強く意識していたことが背景にある。中央研究所ではなく事業部内の研究所で開発を進めたことで、別材料の工業化で苦労する…